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电子行业半导体材料系列报告(3):抛光液垫,CMP工艺关键耗材-20200424-中信建投-22页

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请参阅最后一页的重要声明[table_main]行业深度模板证券证券研究报告研究报告··行业行业深度深度研究研究半导体材料系列报告(半导体材料系列报告(33))抛光抛光液液//垫垫::CCMPMP工艺关键耗材工艺关键耗材抛光液抛光液/垫是垫是CMP关键耗材关键耗材,对高精度晶圆制造至关重要,对高精度晶圆制造至关重要化学机械抛光(CMP)是晶圆制造的关键步骤,其作用在于减少晶圆表面的不平整,而抛光液、抛光垫是CMP技术的关键耗材,价值量较高,分别占CMP耗材49%和33%的价值量,其品质直接影响着抛光效果,因而对提高晶圆制造质量至关重要。抛光液/垫技术壁垒较高,高品质的抛光液需要综合控制磨料硬度、粒径、形状、各成分质量浓度等要素,而抛光垫则更加看重低缺陷率和长使用寿命。随着制程不断迭代,未来抛光材料将往专用化和定制化方向发展。产业整体向好结合技术迭代,产业整体向好结合技术迭代,抛光材料市场抛光材料市场稳健稳健增长增长全球半导体产业规模巨大,且在不断增长,半导体材料作为半导体行业发展的基础,将伴随产业红利持续增长。抛光液、抛光垫是CMP工艺的重要耗材,约占抛光材料价值量的80%,市场规模增长稳健。同时,由于最新的技术需要更多次的CMP抛光操作,随着芯片制程的不断提高,以及3DNAND技术的不断普及,技术迭代也将进一步推动抛光材料需求增长。2018年全球抛光液、抛光垫市场规模合计20.1亿美元,预计2023年将达到28.4亿美元,复合增长率7%。美美系系厂商垄断市场,替代需求愈加强烈,国产厂商迎来机遇厂商垄断市场,替代需求愈加强烈,国产厂商迎来机遇目前全球抛光垫市场呈现一家独大的市场格局,陶氏化学占有绝对主导地位,市占率高达79%。抛光液市场同样以国外厂商为主,行业龙头Cabot微电子市占率达36%,但市场格局呈现分散化趋势。随着半导体产业逐渐向中国大陆转移,国内半导体材料需求持续增长,但国产供给缺口十分巨大,国产化率仅10%,替代需求强烈。随着需求的多样化和对品质要求的提高,未来抛光材料将逐步向专用化、定制化方向发展,这为立足国内市场的国产厂商提供了机遇。国产厂商国产厂商已已实现抛光材料突破,未来增长可期实现抛光材料突破,未来增长可期在抛光液领域,安集微电子自成立以来便专注于抛光液研发与生产,并快速取得市场突破,先后打入中芯国际、台积电等厂商供应体系,成为国内抛光液龙

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